LPC 부스

LPC Booth(Hood)

이 부스 내부에 리퀴드 파티클 카운터(LPC) 장비를 넣고,디버블러와 공압밸브등을 설치하여 수동/자동으로 LPC장비를 운용할수 있도록 고안된 부스로 내부에 FFU 설치하여 보다 크린환경을 만들수 있다.(LPC자동인라인시스템 개발완료)